全自动蒸镀机

如何处理真空镀膜机返油？1.启动电源主开关，这里需要注意的是电压和气压是否正常，另外冷却循环水势否大于1.5KG/cm2，这里需要先开冷却开关和水泵开关。2.启动扩散泵按钮时电流是否正常，以及扩散泵的下面是否有杂物，要是发现杂物要立即进行清理，正常情况下要预热一个半钟头才能进行抽真空。3.启动维持泵按钮，需要注意油和油位是否干净，皮带松紧是否合适。要是油位低于正常水平要及时进行加油。4.主泵按钮启动，在操作的时候要注意主泵有无异响和异味，油和油位是否干净，另外还需要检查马达皮带松紧是否合适，检测皮带松紧的标准是使用手压皮带下沉10—15毫米为准。5.关闭设备门进行抽真空，在进行这步操作的时候要注意粗转精抽切换是否正常，换向阀运行是否正常，以及各项参数、性能有无异常。需要做好记录，以备日后检修参考。6.充气，时间不可进行过长，正常情况下小于两分钟，同时需要注意开门和关门的时间，做好记录，一遍下回检修的时候进行参考。真空镀膜机操作员要穿着整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高跟鞋。全自动蒸镀机

真空镀膜机设备表面处理的基本方法：1、溶剂脱脂，附着在真空设备零件上的油可分为动植物油和矿物油。动植物油可用碱溶液化学法除去，矿物油可用有机溶剂除去。然而，在实际的清洗设备中，通常使用两种溶剂。2、酸碱侵蚀处理，设备除油后，金属表面的氧化物可用酸蚀或碱蚀去除。热处理后，设备零件无油污。真空退火后可直接进行酸/碱腐蚀去除氧化层污染。3、电化学清洗和电解抛光，介绍了电化学清洗的原理和配方，指出电解抛光的电解液不同于电解蚀刻液。电化学抛光的电解液配方和抛光规范如下：1.正磷酸（HPo）：65%（质量百分比）；2.硫酸：15%；3.铬酸（CRO）：6%；4.去离子水：14%；5.电流密度：0.2~0.5a/cm2；6.电压：6~12V；7.工作温度：约75°C；8.时间：5～10min。电抛光后，将零件放入2%-5%氨水中15s-20s，用水冲洗，用无水乙醇脱水，干燥。苏州全自动蒸镀机价格真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，然后形成薄膜。

真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。(1)基片表面清洁。真空室内壁、基片架等表面的油污、锈迹、残余镀料等在真空中易蒸发，直接影响膜层的纯度和结合力。镀前必须清沽干净。(2)镀前准备。镀膜室抽真空到合适的真空度，对基片和镀膜材料进行预处理。加热基片，其目的是去除水分和增强膜基结合力。在高真空下加热基片，能够使基片的表面吸附的气体脱附。然后经真空泵抽气排出真空室，有利于提高镀膜室真空度、膜层纯度和膜基结合力。然后达到一定真空度后．先对蒸发源通以较低功率的电，进行膜料的预热或者预熔，为防止蒸发到基板上，用挡板遮盖住蒸发源及源物质，然后输入较大功率的电，将镀膜材料迅速加热到蒸发温度，蒸镀时再移开挡板。(3)蒸镀。在蒸镀阶段要选择合适的基片温度、镀料蒸发温度外，沉积气压是一个很重要的参数。沉积气压即镀膜室的真空度高低，决定了蒸镀空间气体分子运动的平均自由程和一定蒸发距离下的蒸气与残余气体原子及蒸气原子之间的碰撞次数。(4)取件。膜层厚度达到要求以后，用挡板盖住蒸发源并停止加热，但不要马上导入空气。真空镀膜机可以节省更多的生产成本。

真空镀膜设备应用很广，如今在我们的生活中到处可见，是很重要的一个设备。但是设备在使用一段时间后，表面就会留下灰尘影响真空镀膜的整体效果。那么如何减少灰尘的出现呢？1、真空镀膜设备使用的源材料要符合纯度要求。2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。3、真空镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。4、真空镀膜清洗衬底材料，要做到严格合乎工艺要求。5、真空镀膜适当的增加环境的湿度，利于减少周围环境的悬浮固体颗粒物。6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要穿戴服装。真空镀膜机在真空密封的腔体内成膜，几乎无任何环境污染问题，有利于环保。金属蒸镀机设计

检查真空镀膜机电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示380±20V。全自动蒸镀机

真空镀膜机泵组系统的应用及原理：真空镀膜机，必须使用机械泵、机械泵也被称为前级泵、机械泵是应用较广的低真空泵油保持密封效果和依靠机械方法不断改变泵吸入腔的体积，所以容器内气体的体积膨胀以获得真空。机械泵有很多种，常用的滑阀式、往复活塞式、固定板式和回转板式四种类型。机械泵常用于去除干燥空气，但不能去除过量的氧气和腐蚀性气体，机械泵一般用于去除气体，但对水煤气效果不好，所以不能去除水煤气。转子泵过程中起着重要作用的组件定子等等，转子与定子轴定子但不同，像两个内圈，转子槽设有两个弹片，两个弹片中间的弹簧，确保弹片紧密附着在定子内壁。它的两个弹片交替发挥着两种作用，一方面从吸入气体，另一方面，压缩气体已经吸入，气体从泵中排出。转子每转动一次，泵就完成两次吸气和两次排气。当泵继续顺时针旋转时，旋转叶片泵不断地通过进气口吸入气体，并从排气口不断地排出泵外，以达到抽吸容器的目的。全自动蒸镀机

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